Статичен контрол на чиста стая
1. Основни принципи на статичното управление
(1) Определете статичното ниво на управление
(2) Минимизирайте генерирането на статичен заряд
(3) Методът за обезвъздушаване и неутрализиране ускорява разсейването на статичния заряд и предотвратява натрупването на статично електричество
(4) Защитете продукта от повреда от ESD
2. Определете нивото на статично управление
(1) Класификация на електростатичната чувствителност на компоненти, компоненти и оборудване
Ниво 1: лесно се поврежда от електростатично напрежение 0-1999V
Ниво 2: лесно се поврежда от електростатично напрежение 2000-3999V
Ниво 3: лесно се поврежда от електростатично напрежение 4000-5999V
Ако чувствителното статично напрежение е по-голямо от 16000V, не е необходимо да се вземат антистатични мерки.
(2) Класификация на работната зона за електростатична защита
Клас А: Оставете електростатичния потенциал на земята да не надвишава ± 100V
Клас В: Оставете електростатичния потенциал на земята да не надвишава ± 1000V
В действителния проект електростатичният потенциал не надвишава 3 нива на чувствителното към електростатично напрежение напрежение на съответните компоненти, компоненти и оборудване като 100V, 500V и 1000V.
3. Минимизирайте генерирането на статичен заряд, доколкото е възможно
Това е първата стъпка в трилогията на статичното управление. В тази чиста работна среда най -добрите мерки са:
(1) Опитайте се да използвате оборудване със сходни свойства, за да намалите електростатичния заряд, генериран по време на процеса на разделяне на контактното триене;
(2) Опитайте се да използвате статични проводими или статично разсейващи материали, за да намалите натрупването на статични заряди по време на процеса на триене и разделяне на контакта;
(3) Опитайте се да използвате производствен процес, който намалява електростатичния заряд, генериран от разделянето на контактното триене.
4. Освобождаване и неутрализиране
Това е първата стъпка в тристепенния процес на контрол на статичното електричество. Обичайните мерки в чистите помещения за производство на микроелектроника са заземяване, използване на проводими или разсейващи материали за разреждане на статични заряди и йонизиращи разсейватели за неутрализиране на статични заряди.
(1) Заземяване
Чистото помещение трябва да бъде оборудвано с независима електростатична система за заземяване (включително система за заземяване със заземяване с метална мрежа, система за заземяване на работна станция на производствената линия), така че металните корпуси на цялото оборудване в помещението, метални опори за мобилно оборудване, антистатични оборудване и др., може безопасно и ефективно да разрежда статични заряди. Поставете го на земята. Заредената електрическа енергия на персонала се заземява през каишка за китка и се изхвърля на земята чрез антистатична обувка или презрамка на петата и след това през антистатична маса. Земята, стените, таваните, преградите и т.н. са твърдо заземени, докато корпусите на оборудването, мобилното оборудване (автомобили, столове, рафтове и др.), Работните маси и т.н. са меко заземени.
(2) Йонизиран Xiao Electric
Компонентите и печатните платки, произведени и сглобени в чисти помещения, производствени линии и работни станции, винаги са неизбежни, че има някои изолирани проводници и изолационни диелектрични материали (като повечето обикновени пластмаси), които не могат да бъдат заземени. В някои среди йонизиращите елиминатори често се използват за локално разсейване на статичните заряди върху тези обекти и по -често чрез йонизация на въздуха за неутрализиране на статичните заряди върху изолационната среда и изолирани проводници.
(3) Статично електричество и статично разсейващи материали
Материалите за проводимост на статично електричество и статично разсейващи материали също са много добри материали за разряд на статичен заряд поради своята проводимост на статично електричество и са по -безопасни от разрядите на метални проводници. Обикновено се използват като подове, стени, работни маси и контейнери за оборот. , Пинсети, четки и друго антистатично оборудване.
5. Предотвратяване на ЕСР и защита на продуктите
Това е последната стъпка в трилогията за контрол на статичното електричество. В чистото помещение за производство на микроелектроника, за да се предотврати появата на ESD върху чувствителни към електростатично въздействие компоненти или компоненти, печатни платки, един метод е да се осигури подходящо заземяване или шунтове за компоненти и компоненти, за да се разсее" статичното електричество, което съществува върху продукта. Зареждане; друг метод е да се използват подходящи опаковъчни методи и материали за обработка на опаковането и транспортирането на чувствителни към електростатични устройства устройства. Тези материали могат ефективно да предпазват проникването на електрически заряди в продукта и да намалят статичния заряд, генериран от движението на продукта в опаковъчната кутия.
В международен план полупроводниците, плоските течнокристални дисплеи и оптоелектрониката се развиват бързо, с по-високи и по-високи нива на интеграция, по-тънки диаметри на чип тел и все по-високи изисквания за антистатичност. Американската асоциация за ESD започна да преразглежда програмата за контрол на електростатичния разряд ANS ESD S 20.20-1999 и направи някои изменения в класификацията на SSD електростатичната чувствителност.
Това предупреждава потребителите на компоненти, независимо дали персоналът или оборудването произвежда оборудване, да ви кажат изискванията за контрол на околната среда, които могат да бъдат необходими. Ако допустимото напрежение в зоната на EPA достигне 25V, страхувам се, че съществуващото ни антистатично оборудване, оборудване, инструменти и инженеринг ще трябва да преминат през упорита работа.