Статично управление на чиста стая
1. Основни принципи на статичния контрол
(1) Определете нивото на статично управление (2) минимизиране на генерирането на статичен заряд (3) изхвърляне и неутрализиране, за да ускорите разсейването на статичния заряд и да предотвратите статичното натрупване (4) Защита на продуктите от увреждане на ESD
2. Определете нивото на статично управление
(1) Класификация на статичната чувствителност на компонентите, сглобките и оборудването
Ниво 1: податливо на 0-1999 V статично напрежение
Ниво 2: податливо на 2000-3999 V статично напрежение
Ниво 3: податливо на 4000-5999 V статично напрежение Ако чувствителното статично напрежение е по-голямо от 16000V, не се изискват антистатични мерки.
(2) Класификация на работните области на електростатичната защита
Клас А: Електростатичният потенциал за земята се оставя да бъде не повече от ± 100V
Клас Б: Електростатичният потенциал на земята се оставя да бъде не повече от ± 1000V. В действителното инженерство има три нива на електростатичен потенциал не повече от 100V, 500V, 1000V и др., Съответстващи на електростатичните чувствителни напрежения на компоненти, сглобки и оборудване.
3. минимизиране на генерирането на статично електричество
Това е първата стъпка в процеса на три стъпки за контрол на статичното електричество. В тази пречистена работна среда най -добрите мерки са:
(1) Опитайте се да използвате оборудване с подобни свойства, за да намалите генерирането на статично електричество по време на процеса на контакт, триене и разделяне;
(2) опитайте да използвате оборудване с електростатично проводими или електростатични дисипативни материали, за да намалите натрупването на статично електричество по време на процеса на контакт, триене и разделяне;
(3) Опитайте се да използвате производствени процеси, които намаляват генерирането на статично електричество поради контакт, триене и разделяне.
4. Изхвърляне и неутрализиране
Това е втората стъпка в процеса на три стъпки за контрол на статичното електричество. Най -често срещаните мерки в чистото помещение на производството на микроелектроника са заземяване, като се използват проводими или дисипативни материали за изхвърляне на статично електричество и йонизиращи елиминатори за неутрализиране на статичното електричество.
(1) Заземяването на чистото помещение трябва да има независима електростатична заземяваща система (включително заземяващата система за заземяване на метална мрежа и системата за заземяване на работната станция на производствената линия), така че всички метални корпуси на оборудване в стаята, метални скоби от мобилно оборудване, антистатично оборудване и др. Могат безопасно и ефективно да изхвърлят статични заряди към земята. Зарядът на персонала е заземен през каишката на китката и след това се изхвърля на земята през антистатичния под през антистатичните обувки или каишки на петата. Земята, стените, таваните, преградите и т.н. са твърдо заземяване, докато корпусът на оборудването, мобилното оборудване (автомобили, столове, рафтове и т.н.), работните съдове и т.н. са меко заземяване.
(2) Ионизирани електрически уреди винаги има някои изолирани проводници и изолационни диелектрични материали (като повечето обикновени пластмаси), които не могат да бъдат заземени на компонентите, ПХБ, производствени линии и работни станции, произведени и сглобени в чистото помещение. В някои среди йонизираните електрически уреди често се използват за локално разсейване на статичните заряди върху тези обекти и по -често се използва въздушна йонизация за неутрализиране на статичните заряди върху изолационната среда и изолирани проводници.
(3) Проводими и дисипативни материали
Проводимите и дисипативни материали също са добри материали за изхвърляне на статично електричество поради тяхната проводимост. Те също са по -безопасни от металните проводници. Обикновено се използват като антистатично оборудване като подове, стени, работни съдове, контейнери за оборот, пинсети и четки.
5. Предотвратяване на ESD
Защитата на продуктите е последната стъпка в процеса на три стъпки за контрол на статичното електричество. В чистото помещение на производството на микроелектроника, за да се предотврати появата на ESD върху статично-чувствителни компоненти или сглобки, и PCB, един метод е да се осигури подходящо заземяване или шунти за компоненти и сглобки, за да се "разсейва" статичното електричество върху продуктите; Друг метод е използването на подходящи методи и материали за опаковане за справяне с опаковките и транспортирането на статично чувствителни устройства. Тези материали могат ефективно да защитят заряда от нахлуването на продукта и да намалят статичното електричество, генерирано от продукта, който се движи в кутията за опаковане. Това е предупреждение за потребителите на компоненти, което ви казва изискванията за контрол на околната среда, които могат да бъдат необходими при производството на оборудване, независимо дали за персонал или оборудване. Ако разрешеното напрежение в района на EPA достигне 25V, се страхувам, че съществуващото ни антистатично оборудване, оборудване, инструменти и инженерство ще трябва да премине през много упорит труд.