Каква е опасността от статично електричество за IC опаковки
Каква е опасността от статично електричество за IC опаковки? На първо място, причината за статичното електричество може да се види навсякъде. С бързото развитие на науката и технологиите и високата степен на автоматизация в промишленото производство, опасностите от статично електричество в промишленото производство вече са очевидни. Това може да доведе до различни препятствия, да ограничи подобряването на нивото на автоматизация и да повлияе на качеството на продукта. Ето и основните причини за генерирането на статично електричество в комбинация с действителното състояние на нашата фабрика в процеса на опаковане и производство на интегрални схеми.
1. Материалите с висока устойчивост се използват предимно за строителни и декоративни материали в производствени цехове
Производственият процес на IC изисква използването на чиста работилница или ултра-чист цех. Размерът на частиците за отстраняване на прах трябва да се промени от предходния 0,3μm на 0,1 μm, а плътността на праховите частици е около 353 частици/m3. За тази цел, в допълнение към инсталирането на различни съоръжения за събиране на прах, за предотвратяване на прах трябва да се използват неорганични и органични материали без прах. Въпреки това, електрическата ефективност на строителни материали не се счита за индикатор. В спецификациите на дизайна не се предвижда почистване на промишлени предприятия. Материалите за интериорна декорация, използвани главно в чистата работилница на фабриката за производство на IC са: полиуретанов еластичен под, найлон, твърда пластмаса, полиетилен, пластмасови тапети, смола, дърво, бяла порцеланова плочка, емайл, гипс и т.н. Повечето от гореспоменатите материали са полимерни съединения или изолатори. Например, съпротивлението на плексиглас тялото е 1012~ 1014Ωcm, а съпротивлението на полиетиленово тяло е 1013 ~ 1015ncm. Следователно, проводимостта е относително ниска. Статично електричество поради някаква причина не е лесно да се теча на земята чрез тях, което причинява натрупването на статично електричество.
2, статично електричество на човешкото тяло
Различните действия и ходещи напред-назад на операторите в чистата стая, подметките на обувките и земята са постоянно в тесен контакт и отделяне, а различни части на човешкото тяло също са активни и триене. Независимо дали става въпрос за бързо ходене, бавно ходене или т.нар, ще се генерира статично електричество, което е така наречената такса за ходене; човешкото тяло се изправя след преместване. , Работните дрехи, носени от човешкото тяло и повърхността на стола, се отделят след контакт с повърхността на стола, и ще се генерира и статично електричество. Ако електростатичното напрежение на човешкото тяло не може да бъде премахнато и IC чипът е докоснат, то може да причини несъзнателно разпадане на IC.
3. Статично електричество, причинено от климатизация и пречистване на въздуха
Тъй като производството на IC изисква 45-55% RH, трябва да се приложи климатизация и пречистване на въздуха трябва да се извършва едновременно. Дехумитираният въздух се изпраща в чистата стая през първичния филтър, филтъра за средна ефективност, филтъра за висока ефективност и въздуховодите. Обикновено скоростта на вятъра на главния въздухопровод е 8 ~ 10m / s, а вътрешната стена на въздухопровода е боядисана. Когато сухият въздух и въздухопроводът, сухият въздух и филтърът се движат един спрямо друг, ще се генерира статично електричество. Трябва да се отбележи, че статичното електричество е по-чувствително към влажността. В допълнение, транспортирането на полуготови продукти и IC продукти ще генерира статично електричество по време на пакетиране и транспортиране, което е един от факторите на статично електричество.
На второ място, статичното електричество е много вредно за IC. Най-общо казано, статичното електричество има характеристиките на висок потенциал и силно електрическо поле. В процеса на електростатично зареждане и заустване понякога се образуват преходни високото течение и електромагнитните импулси (EMP), които генерират електромагнитни полета с широк спектър. В допълнение, в сравнение с конвенционалната електрическа енергия, електростатичната енергия е сравнително малка. В процеса на естествено електрификация-разреждане параметрите на електростатичното разреждане (ESD) са неконтролируеми и това е случаен процес, който е трудно да се повтаря. Ето защо, ролята му често е засегната от хората. Игнорирани. Особено в областта на микроелектрониката, вредата, която причинява на нас, е удивителна. Според докладите, преките икономически загуби, причинени от статичното електричество, са по-високи от няколкостотин милиона юана всяка година. Вредите на статичното електричество се превърнаха в основна пречка за развитието на микроелектрониката.
В производствения цех за полупроводникови устройства, поради адсорбцията на праха върху чипа, добивът на интегрални схеми, особено на много мащабни интегрални схеми (VLSI), ще бъде значително намален. Операторите в производственото цех IC носят чисти гащеризони. Ако човешкото тяло е заредено със статично електричество, лесно се абсорбира прах и мръсотия. Ако тези прах и мръсотия бъдат доведени до мястото на работа, това ще се отрази на качеството на продукта, ще влоши работата на продукта, и значително намаляване на Ic. Добив. Ако радиусът на адсорбираните частици прах е по-голям от 100 μm и ширината на линията е около 100 μm, когато дебелината на фолиото е под 50 μm, продуктът е най-вероятно да бъде скрап.