Анализ на статичното електричество в чисти помещения
① Голям брой диелектрични декоративни материали, подове, стени, врати, тавани, столове, столове и т.н., тези материали лесно се зареждат от триене и не са лесни за изтичане и освобождаване.
Пластмасовият под на ESD във фотолитографската стая е 5 0 0V ~ 1000V, пластмасовият под в дифузионната стая е 500V ~ 1500V, пода на плочките също е 500V ~ 1500V, пластмасовият тапет е 700V, пластмасовият таван е 0V ~ 1000V, а пластмасовият тапет е 700V, пластмасовият таван е 0V ~ 1000V, а пластмасовият тапет е 700V, пластмасовият таван е 0V ~ 1000V, а металната подвижна повърхност на стола е 500V ~ 3000V.
② Когато хората носят чисти дрехи, обувки, разходка или работа, те ще генерират статично електричество, когато се търкат от различни материали и оборудване, а хората, дрехите и обувките ще бъдат таксувани.
Хората, носещи найлонови дрехи ESD, и пластмасови обувки с гумена пюре от ESD вървят бавно на чистия под и носят 7000V ~ 8000V статично напрежение. Ходенето на винилов под може да носи 1200V (10%~ 20%RH), 250V (65%~ 90%RH) статично напрежение, ходенето по килим може да носи 35000V (10%~ 20%RH), 1500V (65%~ 90%RH), а работните дрехи, носени от работниците по линията на чипс, могат да достигнат 10kV.
③ Въздушният поток на климатика преминава през първичния филтър, среден филтър и филтър с висока ефективност, а пречистеният въздушен поток на изхода е статично зареден. Алуминиевата плоча захранване и връщането на въздуха са около 500 ~ 1000V.
④ Голям брой изолационни оборудване, оборудване и инструменти също са важни източници на статично зареждане. Производствена линия за сглобяване на вафли: Кутия за натоварване на вафли 35kV, органично стъклено покритие 8kV, кварцови продукти 1,5kV, тава с вафли 6kV, акрилен капак 20kV, масата отгоре 10kV, пластмасов шкаф за съхранение 30kV, кристално натоварване на стъклените влакна, плъзгаща се върху полипропиленова маса, носят 10kV. Накратко, колкото по -високи са изискванията за чистота на чистата стая, толкова по -сериозни ще бъдат статичните заряди.